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一、設備用途：本設備主要用于晶體硅太陽電池制造中與管式PECVD配套對硅片進行裝卸。即將硅片從料盒中自動裝載至石墨舟中，同時將石墨舟中已經(jīng)完成工藝處理的硅片自動裝載至料盒中。二、技術特點：1、國內首創(chuàng)非機械手式全新技術方案。2、較機械手式自動插片機更明顯的性價比優(yōu)勢。3、核心部件都是自主開發(fā)，大大降低客戶維護成本。4、兼容性好：與市場現(xiàn)有PECVD設備所配小車能兼容，最大限度降低客戶使用成本。
三、技術指標：
| 產(chǎn)品種類 | WIL（在線式） | WOL（離線式） |
| 型號 | FWT-IL | FWT-OL-A |
| 適用硅片 | 125mm/156mm（單、多晶） | 125mm/156mm（單、多晶） |
| 碎片率 | <0.1% | <0.1% |
| 產(chǎn)能 | 1800 pcs/h | 3000 pcs/h(12舟/小時) |
| 硅片厚度 | 130~240um | 130~240um |
| 尺寸（L/W/H） | 3710mmX2000mmX2345mm | 3710mmX2000mmX2345mm |
| UP-TIME | ＞97% | ＞97% |
