手機(jī)版|
二維碼|
點(diǎn)擊下圖片即可查看大圖
◆ 設(shè)備用途 該設(shè)備是晶體硅太陽電池制造過程中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一，主要用于晶體硅太陽電池制造中硅片的擴(kuò)散摻雜與氧化工藝。◆ 產(chǎn)品亮點(diǎn)1、唯一能適應(yīng)高阻高效和變濃度擴(kuò)散工藝的國產(chǎn)設(shè)備 2、領(lǐng)先國內(nèi)同行的實(shí)際擴(kuò)散均勻性3、擴(kuò)散綜合使用成本較第三代設(shè)備降低20%以上4、單位綜合能耗下降20%以上5、設(shè)備有效工作時(shí)間較第三代國產(chǎn)設(shè)備高5%以上6、適用于P型電池、N型電池、退火和低壓擴(kuò)散工藝◆ 主要技術(shù)參數(shù)
| 序號(hào) | 指 標(biāo) 項(xiàng) 目 | 指 標(biāo) 值 |
| 1 | 工藝方式 | 軟著陸閉管 |
| 2 | 反應(yīng)管有效內(nèi)徑 | ø320mm，適用于 □125mm，□156mm |
| 3 | 爐管數(shù) | 1管、2管、3管、4管、5管 |
| 4 | 生產(chǎn)能力 | ≥1000片/批/管 |
| 5 | 加熱溫度 | RT～1250℃ |
| 6 | 工作溫度范圍 | 400～1100℃ |
| 7 | 溫度控制方式 | 5點(diǎn)控溫，內(nèi)外雙模控制 |
| 8 | 恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度 | ≤±0.5℃/1100mm（800~1100℃），≤±1℃/1100mm（400~800℃） |
| 9 | 溫度穩(wěn)定性 | ≤±0.5℃/4h（880℃） |
| 10 | 溫度斜變能力 | a．最大可控升溫速率： 20℃/min.b．最大降溫速率： 8℃/min.c．RT→工藝溫度 ≤50min. |
| 11 | 具有自動(dòng)斜率升溫及快速恒溫功能 | |
| 12 | 降溫方式 | 立體水冷+風(fēng)冷 |
| 13 | 凈化裝載臺(tái)凈化方式與凈化級(jí)別 | 垂直層流，1000級(jí)(10000級(jí)廠房)，或100級(jí)（1000級(jí)廠房） |
| 14 | 送舟方式 | 采用SiC懸臂槳自動(dòng)水平送片，舟速20～1000mm/min連續(xù)可調(diào)；定位精度≤±1mm；最大承載重量為18kg |
| 15 | 尾氣處理方式 | 尾部集中收集，冷凝氣液分離后定向排放 |
| 16 | 氣體控制與輸送方式 | MFC精確控制流量，高潔凈內(nèi)拋光不銹鋼管與PFA管輸送，氣動(dòng)隔膜閥通斷，全進(jìn)口件氣體控制與輸送系統(tǒng) |
| 17 | 壓力控制方式 | 閉環(huán)全自動(dòng) |
| 18 | 爐口環(huán)境隔離方式 | 氣簾掃吹技術(shù) |
| 19 | 工藝過程控制 | 全自動(dòng)，PLC+工控機(jī)，觸摸屏操作 |
| 20 | 工藝管理功能 | 每管可存儲(chǔ)超過200條工藝曲線，每條曲線不少于30個(gè)拐點(diǎn) |
| 21 | 報(bào)警保護(hù)功能 | 全面的超溫、斷偶、短路、停水、停氣、誤操作等報(bào)警連鎖保護(hù) |
| 22 | 設(shè)備總功率 | 峰值功率50KW/每管；保溫功率約15KW/每管 |
| 23 | 設(shè)備外形尺寸 | 6470×1875×3275（L×W×H，mm，4管）6870×2025×3000（L×W×H，mm，5管） |
