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PD-305/380型管式PECVD
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  • 發布時間:2016-07-09 08:59

產地:廣東 | 歸屬行業:光伏生產設備

品牌:捷佳偉創/S.C

有效期至:長期有效

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聯系地址:廣東省深圳市龍崗區橫崗街道橫坪公路89號數字硅谷(涌鑫工業廠區)D、E棟

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深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司

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 設備用途:主要用于晶體硅太陽能電池制造中電池片的減反射膜生長,也可用于在電池片的背面沉積鈍化膜。

工藝流程:石墨舟及硅片準備→管內充氮氣→進舟→抽真空,壓力測試→氨氣預清理和檢查→管路抽真空,測漏,恒溫→預鍍膜→鍍膜→抽真空,壓力測試→清管路,充氮氣→退舟

技術特點Technical characteristics

5段控溫恒溫區

數字化控制,消除了模擬變量傳輸的干擾

工藝舟自動裝載

進口射頻電源,脈沖式放電

進口防腐蝕干泵

爐口的特殊設計

進口閥門及自動壓力調節、全進口VCR接頭

精確溫度控制系統

中央計算機集中控制

與進口產品工藝品質一致,具備優越的性價比優勢

業內領先的背面鈍化疊層膜技術,有效提高晶體硅電池的轉換效率


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