1.主要應用于LCD、LED、連接器、鍵合前等大規(guī)模生產(chǎn)領(lǐng)域。 2.所有元器件及核心部件采用進口，保證了整機的穩(wěn)定性和使用壽命。 3.真空泵采用進口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時間工作的體系， 在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗，使泵的壽命大大提高，并有效降 低了泵的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐 高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內(nèi)置 于機柜內(nèi)部，使機器緊湊，占地面積小。 4.自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數(shù)、工藝過程實時監(jiān)控，并顯 示運行狀態(tài)、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間紀錄，適合維護，可以提供工 藝參考。 5.可存儲50組工藝配方，隨意調(diào)用。 6.清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設(shè)定可調(diào)。 7.工藝參數(shù)受密碼保護，分級密碼管理查詢。 8.一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。 9.自動提醒系統(tǒng)維護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延 長使用壽命。 10.氣體質(zhì)量流量計采用美國進口，由模擬量輸入輸出，量程為0～200sccm可在量 程范圍內(nèi)無級調(diào)節(jié)，根據(jù)特殊的工藝要求可用PLC對質(zhì)量流量計進行PID調(diào)節(jié)而實 現(xiàn)真空度的控制。 11.根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設(shè)備，油過濾器，過濾返油裝置等, 電極結(jié)構(gòu)（專利申請中）的高等離子通量設(shè)計能很好地提高等離子體的均勻性 及穩(wěn)定性。