PNG  IHDRPLTEU~IDATXYA0 'H|l'}Y)~ #eq:f 1^ +GW2LĖjXFd4nÍw+x 1h_p[` xsD޻u X=u/d59IX/rGA.H%#$`/j7F;M'ÝEQ08< /`Bm}!VB|!0h$;o0 ҋF* Ϧ@#FҖTxO,;<8=28E hbt"0Fڂ0&W0&ȧ*ʚ k gj3݉߶3^]3%*zA6d˚^ew;0+칰+rp mf&"X& )Ce И ccS Nt]eC)r"BcR4 YZgG4~ bdI4\y0.ʬniD^3sʮßOH>_𢽦Θ THѦ*W٩h>*psy['ê